一种具有镜面加热测温的MEMS微镜的制作方法

本技术涉及一种mems微镜，尤其是一种具有镜面加热测温的mems微镜。

背景技术：

1、结构光3d测量技术在工业检测、三维恢复、工业机器人、物流筛检领域有广阔的应用。mems微镜结构光是一种基于mems微镜技术的结构光设备，通过匹配mems微镜的运动，控制激光的开断实现结构光的投射，然后使用相机采集结构光的叠加在待测工件上的图形，经过算法恢复出待测工件的三维形貌。但更大的待测工件和更远的探测距离对结构光的投射强度和投射距离，对激光光源的强度和mems微镜的面积提出了更高的要求。

2、使用大功率激光照射mems微镜镜面时，有部分激光被微镜镜面吸收，mems微镜温度升高，在投射结构光条纹时，由于条纹的强度和占空比基本不变，mems微镜镜面吸收到的热量基本不变，微镜温度变化较小，谐振状态下的mems受不同宽度的结构光的影响较小。但进行恢复成像时，相机需要在彻底关闭激光器时，拍摄空白涂卡，用作差分减背景噪声使用。此时彻底关闭激光器，mems微镜不再接受大功率激光光源照射，mems微镜的温度会产生较大变化，微镜镜面需要重新确定运动轨迹，不利于结构光投射模组的连续使用。为了解决上述问题，如cn206115025u公开的一种热稳定性高的3d扫描模组，其在芯片外端设置加热装置和温度传感器，这种结构增大了模组封装的体积，增加了模组的功耗和成本。

技术实现思路

1、为解决上述体积大、功耗大、成本高的问题，本实用新型提供一种具有镜面加热测温的mems微镜，具体技术方案为：

2、一种具有镜面加热测温的mems微镜，包括：加热测温电阻丝，设于镜面的侧面；以及加热测温电极，设于顶硅层上，且设有两个，所述加热测温电极分别与所述加热测温电阻丝的两端连接。

3、优选的，所述加热测温电阻丝的两端分别通过扭转梁连接到所述加热测温电极上。

4、优选的，所述加热测温电阻丝设于所述镜面的一个半周或两个半周上，其中，所述加热测温电阻丝设置在所述镜面的两个半周上时，一个所述半周上的所述加热测温电阻丝的匝数比另一个所述半周上的所述加热测温电阻丝多一匝。

5、进一步的，所述加热测温电阻丝大于一匝时，折返设置。

6、优选的，所述顶硅层的电阻率低于50ω·cm时，所述顶硅层的顶部设有绝缘层。

7、与现有技术相比本实用新型具有以下有益效果：

8、本实用新型提供的一种具有镜面加热测温的mems微镜在镜面周边布置加热测温电阻丝，实现镜面温度的测温和加热平衡温度，使芯片集成加热和测温功能，并且能耗低、结构紧凑、成本低。

1.一种具有镜面加热测温的mems微镜，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种具有镜面加热测温的mems微镜，其特征在于，所述加热测温电阻丝的两端分别通过扭转梁连接到所述加热测温电极上。

3.根据权利要求1所述的一种具有镜面加热测温的mems微镜，其特征在于，所述加热测温电阻丝大于一匝时，折返设置。

4.根据权利要求1所述的一种具有镜面加热测温的mems微镜，其特征在于，顶硅层的电阻率低于50ω·cm时，所述顶硅层的顶部设有绝缘层。