一种氩回收装置废气回收再利用装置及其使用方法与流程

1.一种氩回收装置废气回收再利用装置，它包括废气压缩系统、热源系统、低温精馏分离系统、粗氢压缩系统、粗氩压缩系统；相互之间通过管道连接，其特征在于：所述废气压缩系统与低温精馏分离系统连接，低温精馏分离系统分别与粗氢压缩系统和粗氩压缩系统连接，热源系统为低温精馏分离系统中管道通过换热器后热量作为热源，其中废气压缩系统包括废氩气压缩机和缓冲罐；缓冲罐安装在废氩气压缩机前后两侧的管道上，每侧至少1个，前侧的设置缓冲罐与废气排放管道连接，后侧缓冲罐与低温精馏分离系统的原料气进口连接。

2.根据权利要求1所述的氩回收装置废气回收再利用装置，其特征在于：所述低温精馏分离系统安装在冷箱中，由一级低温精馏塔和二级低温精馏塔组成，在一级低温精馏塔和二级低温精馏塔之间连接有工艺液氩泵，所述一级低温精馏塔和二级低温精馏塔的周围还安装有一级主换热器、第一粗氩冷凝器、二级主换热器、三级换热器、液空冷凝器、第二粗氩冷凝器、粗氢冷凝器，所述一级低温精馏塔内上方还安装有第一冷凝器蒸发器，下方安装有第一再沸器，所述二级低温精馏塔的上方安装有第二冷凝器蒸发器，下方安装有第二再沸器，所述一级低温精馏塔与粗氢冷凝器之间通过外部的粗氢压缩系统连接，一级低温精馏塔与二级低温精馏塔之间还连接外部的粗氩压缩系统。

3.根据权利要求2所述的氩回收装置废气回收再利用装置，其特征在于：所述粗氢压缩系统和粗氩压缩系统由粗氢压缩机和粗氩压缩机组成，前后均设置有至少1个缓冲罐。

4.根据权利要求1所述的氩回收装置废气回收再利用装置，其特征在于：所述热源系统由二级主换热器、二级低温精馏塔、一级低温精馏塔、粗氢冷凝蒸发组成，二级主换热器中的空气被冷却，从入二级低温精馏塔中被粗液氩冷凝成液空，一部分经节流后进入一级低温精馏塔，将塔顶氩气冷凝成液氩，液空被蒸发；一部分经节流后进入粗氢冷凝蒸发系统作为冷源；一部分经节流后进入二级低温精馏系统，辅组冷凝塔顶氩气，汽化后再与经一级低温精馏系统蒸发的空气汇合进入二级主换热器复热出冷箱送往氩回收装置利用或放空。

5.根据权利要求2所述的氩回收装置废气回收再利用装置，其特征在于：所述一级低温精馏塔和二级低温精馏塔为规整填料塔。

6.根据权利要求2所述的氩回收装置废气回收再利用装置，其特征在于：所述一级主换热器、第一粗氩冷凝器、二级主换热器、三级换热器、液空冷凝器、第二粗氩冷凝器、第一再沸器、第一冷凝器蒸发器、粗氢冷凝器、第二再沸器、第二冷凝器蒸发器均为板翅式结构。

7.根据权利要求1-6任意一项所述的氩回收装置废气回收再利用装置的使用方法，其特征在于：所述方法包括如下步骤：