一种体结构MEMS红外光源及其制造方法

1.一种体结构mems红外光源，从下至上依次为衬底和隔热层、介质层、发热电极层、红外发射层；以及与发热电极层电连接并位于红外发射层两侧的两条发热电极焊盘，其特征在于：

2.如权利要求1所述的一种体结构mems红外光源，其特征在于：所述隔热层的厚度为0.5-50μm，隔热层可采用热导率小于等于0.05w/(m·k)的sio2气凝胶、sic气凝胶、al2o3气凝胶、zro2气凝胶、w2o3气凝胶、fe2o3气凝胶、碳气凝胶和石墨烯气凝胶中的任意一种或多种的混合物。

3.如权利要求1所述的一种体结构mems红外光源，其特征在于：所述衬底材料为硅、石英和玻璃中的任意一种；所述介质层采用由氧化硅或氮化硅构成的单一材料或由二者间隔交叠设置构成的多层复合材料。

4.如权利要求1所述的一种体结构mems红外光源，其特征在于：所述红外发射层由高红外发射率的材料制备而成，高红外发射率的材料为nicr合金、tin、tialn、非晶碳、sic、nio、nicro化合物、zro2、hfo2、la1-xcaxcro3(0≤x≤0.5)以及碳纳米管中的任意一种或多种的混合物。

5.如权利要求1所述的一种体结构mems红外光源，其特征在于：所述发热电极层的材料采用pt、mo、nicr合金、多晶硅、cu、w、hfb2、ptsi以及sno2中的任意一种。

6.如权利要求1所述的一种体结构mems红外光源，其特征在于：所述发热电极焊盘采用alsi合金、au、al、nicr合金、niv合金中的任意一种材料制备而成。

7.如权利要求1所述的一种体结构mems红外光源，其特征在于：所述发热电极层和所述红外发射层还设置有用于阻断二者之间的电传导效应的隔离层；所述隔离层的材料采用氧化硅、氮化硅、氧化铝中的一种或任意多种的组合。

8.如权利要求1所述的一种体结构mems红外光源，其特征在于：所述红外光源还设置有保护层，所述保护层覆盖在所述mems红外光源上表面中除所述发热电极焊盘以外的区域；所述保护层的材料选自氧化硅、氮化硅、氧化铝、氧化铪中的任意一种或多种的组合。

9.如权利要求1-8任一所述的一种体结构mems红外光源的制造方法，包括以下步骤：

10.如权利要求9所述的一种体结构mems红外光源的制造方法，其特征在于：在无需所述隔离层或无需所述保护层或两种都不需要的情况下，只需选择性的去除步骤(5)或步骤(8)或步骤(5)和步骤(8)。