单晶硅倒角机床的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及加工单晶硅加工领域，具体地涉及一种适用于单晶硅材料薄片四周的倒角加工、抛光加工，同时对人工晶体材料进行外圆加工，一次可装夹多片单晶硅薄片，可实现多步工序加工，一机多用的单晶硅倒角机床。
【背景技术】
[0002]在单晶硅材料薄片的倒角加工中，完成倒角的工序，一般需要采用立式雕刻机床代替磨床完成加工，而且每次只能装夹一片工价进行加工工作。因此，需要多台设备分别加工，占地面积大，功率消耗高。多个工艺流程需要多次装夹工件、人员需求量大，生产效率低。
【发明内容】
[0003]为了解决现有设备每次只能装夹一片工件加工所造成的所需设备多而占用空间大，所需人力多等技术问题，本实用新型提供一种单晶硅倒角机床。对单晶硅材料薄片四周的倒角加工、抛光加工，对单晶硅、蓝宝石等人工晶体材料进行外圆加工的一体化，同时该设备为一机多用设备，可实现单晶硅片的抛光工序。
[0004]为达到上述目的，本实用新型的技术方案是:
[0005]—种单晶硅倒角机床，包括床身和工作台，所述工作台由滚动丝杠驱动左右移动，在工作台的两端设置有头架和尾架，所述尾架包括尾架轴，其另一端连接夹紧装置，所述头架和尾架中间用于放置工件夹具，通过夹紧装置夹紧，所述工作台的一侧端设置有进给装置，所述进给装置安装有磨头，所述进给装置连接控制器用于实现磨头的进给，所述磨头上装有砂轮。
[0006]优选的，所述进给装置包括电机、丝杆和进给滑板，所述进给滑板通过固定块连接丝杆，所述电机驱动丝杆往复直线运动。
[0007]优选的，所述夹紧装置包括电机油栗、减压阀、溢流阀、电磁阀和过滤器，通过减压阀与溢流阀控制液压压力，通过电磁阀可控制夹紧装置前后移动。
[0008]优选的，所述工作台的上端设置有高清光电显微镜，高清光电显微镜连接测量显示器。
[0009]优选的，所述砂轮设置有5?10个磨削槽。
[0010]与现有技术相比，本实用新型的有益效果是:
[0011](1)、本设备结构合理紧凑，一台设备分别可对单晶硅薄片进行多片装夹，一次装夹可同时加工5-10片单晶硅薄片，并且设备进行一次装夹同时可完成单晶硅薄片的抛光工序。同时，设备还可以对单晶硅、蓝宝石等人工晶体材料进行外圆加工。通过一次装夹可完成多步工序。减少了重复装夹，提高了加工精度及其生产效率，减少了占地面积，降低了能源消耗和人力资源的占用，从而降低了生产成本。
[0012](2 )、实际加工中，对单晶硅倒角、抛光，蓝宝石等硬脆材料外圆磨削的加工精度较高及光洁度较好。
【附图说明】
[0013]图1是本实用新型单晶硅倒角机床的主视图。
[0014]图2是本实用新型单晶娃倒角机床的俯视图。
[0015]图3是本实用新型单晶硅倒角机床的工作台进给示意图。
[0016]图4是本实用新型单晶硅倒角机床的磨头进给示意图。
[0017]图5是本实用新型单晶硅倒角机床的工件夹具结构示意图。
[0018]其中:1、工作台，2、进给装置，3、头架，4、尾架，5、磨头，6、测量显示器，7、工件夹具，8、操作箱，9、滚动丝杆，10、尾架轴，11、丝杠，12、进给滑板，13、磨头电机，14、砂轮，15、夹紧装置，16、高清光电显微镜，31、电机，71、夹紧机构。
【具体实施方式】
[0019]为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面结合【具体实施方式】并参照附图，对本实用新型进一步详细说明。应该理解，这些描述只是示例性的，而并非要限制本实用新型的范围。此外，在以下说明中，省略了对公知结构和技术的描述，以避免不必要地混淆本实用新型的概念。
[0020]如图1、图2所示，设备是由工作台1、进给装置2、头架3、尾架4、磨头5、测量显示器6、操作箱8、滚动丝杠9、尾架轴10、丝杠11、进给滑板12、磨头电机13、砂轮14、夹紧装置15共同组成的。
[0021]该单晶硅倒角机床包括床身和工作台1，在工作台I的两端设置有头架3和尾架4，尾架4连接用于夹紧工件的夹紧装置15，所述工作台的一侧端设置有进给装置2用于实现磨头5的进给，所述磨头5上装有砂轮14。由交流伺服电机带动头架主轴转动和尾架轴10 一起转动，当头架3每转动一个角度，进给装置2也根据设定的程序进给或后退一定的尺寸值，通过头架3旋转与进给装置2的数控联动运动关系，实现磨削各种不同的圆晶片倒角。
[0022]工作台的上端设置有高清光电显微镜16，高清光电显微镜16连接测量显示器6，测量显示器6可显示由高清光电显微镜16所投射的图像，用于工件磨削之前的对刀工作和工件磨削成型后的检测工作使用。
[0023]图3所示，进给装置2包括电机31、丝杆11和进给滑板12，所述进给滑板12通过固定块连接丝杆11，所述电机31驱动丝杆往复直线运动。进给装置2装有磨头5，所述进给装置2由交流伺服电机带动丝杠11转动实现进给滑板12和磨头5进退。磨头5由磨头电机13带动转动，磨头主轴通过磨头电机13经皮带轮上的多楔带传动的，从而实现外圆磨头主轴的高速旋转。
[0024]床身和工作台I由交流伺服电机带动滚动丝杠9转动实现工作台I左右移动，通过工作台I的移动，可实现工件的磨削，测量等加工工序。
[0025]磨头5上装砂轮14，砂轮14有5?10个磨削槽。
[0026]夹紧装置15，包括电机油栗、减压阀、溢流阀、电磁阀、过滤器，通过减压阀与溢流阀来控制液压压力高低，高压为夹紧状态，低压为调整状态。通过电磁阀的吸合与断开，可控制夹紧装置15的前后移动。装夹工件后通过夹紧装置15顶住尾架轴10，从而达到对工件夹紧的效果。
[0027]操纵箱8可以切换操纵手动、测量、自动等工作方式。
[0028]如图5所示，工件夹具7可以装多片圆晶片，装I片圆晶片再装I片隔垫，然后通过夹紧机构71夹紧，组装成I片I隔的组装方式，然后将其工件夹具7装在头架3和尾架4中间由夹紧装置15夹紧。
[0029]应当理解的是，本实用新型的上述【具体实施方式】仅仅用于示例性说明或解释本实用新型的原理，而不构成对本实用新型的限制。因此，在不偏离本实用新型的精神和范围的情况下所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。此外，本实用新型所附权利要求旨在涵盖落入所附权利要求范围和边界、或者这种范围和边界的等同形式内的全部变化和修改例。
【主权项】
1.一种单晶硅倒角机床，包括床身和工作台，其特征在于，所述工作台由滚动丝杠驱动左右移动，在工作台的两端设置有头架和尾架，所述尾架包括尾架轴，其另一端连接夹紧装置，所述头架和尾架中间用于放置工件夹具，通过夹紧装置夹紧，所述工作台的一侧端设置有进给装置，所述进给装置安装有磨头，所述进给装置连接控制器用于实现磨头的进给，所述磨头上装有砂轮。2.根据权利要求1所述的单晶硅倒角机床，其特征在于，所述进给装置包括电机、丝杆和进给滑板，所述进给滑板通过固定块连接丝杆，所述电机驱动丝杆往复直线运动。3.根据权利要求1所述的单晶硅倒角机床，其特征在于，所述夹紧装置包括电机油栗、减压阀、溢流阀、电磁阀和过滤器，通过减压阀与溢流阀控制液压压力，通过电磁阀可控制夹紧装置前后移动。4.根据权利要求1所述的单晶硅倒角机床，其特征在于，所述工作台的上端设置有高清光电显微镜，高清光电显微镜连接测量显示器。5.根据权利要求1所述的单晶硅倒角机床，其特征在于，所述砂轮设置有5?10个磨削槽。
【专利摘要】本实用新型公开了一种单晶硅倒角机床，包括床身和工作台，所述工作台由滚动丝杠驱动左右移动，在工作台的两端设置有头架和尾架，所述尾架包括尾架轴，其另一端连接夹紧装置，所述头架和尾架中间用于放置工件夹具，通过夹紧装置夹紧，所述工作台的一侧端设置有进给装置，所述进给装置安装有磨头，所述进给装置连接控制器用于实现磨头的进给，所述磨头上装有砂轮。对单晶硅材料薄片四周的倒角加工、抛光加工，对单晶硅、蓝宝石等人工晶体材料进行外圆加工的一体化，同时该设备为一机多用设备，可实现单晶硅片的抛光工序。
【IPC分类】B24B41/06, B24B49/12, B24B25/00
【公开号】CN204913555
【申请号】CN201520534609
【发明人】秦建国, 宗伟
【申请人】北京控联科技有限公司
【公开日】2015年12月30日
【申请日】2015年7月23日
文档序号 :
【 10004148 】
技术研发人员：秦建国,宗伟
技术所有人：北京控联科技有限公司
备 注：该技术已申请专利，仅供学习研究，如用于商业用途，请联系技术所有人。
声 明 ：此信息收集于网络，如果你是此专利的发明人不想本网站收录此信息请联系我们，我们会在第一时间删除
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