一种干涉系统及其多层干涉仪、单层干涉仪、条状干涉仪的制作方法

1.一种干涉系统，其特征在于，包括：输入端、第一多自由度干涉模块、路径干涉模块、第二多自由度干涉模块以及输出端；

所述输入端用于输入多路光束；

所述第一多自由度干涉模块以及所述第二多自由度干涉模块用于位于同一路径的不同光自由度之间的干涉；

所述路径干涉模块用于位于不同路径的光自由度之间的干涉；

所述输出端用于输出多路光束；

所述输入端输入的光束依次经过所述第一多自由度干涉模块、所述路径干涉模块、所述第二多自由度干涉模块以及所述输出端后出射。

2.根据权利要求1所述的干涉系统，其特征在于，所述光自由度包括光的偏振自由度、轨道角动量自由度、时间自由度以及能量自由度中的至少一个。

3.根据权利要求1所述的干涉系统，其特征在于，所述输入端包括N个输入端口，N为大于1的正整数，每个所述输入端口用于容纳一个或是多个光通道，所述光通道包括所述光自由度；

所述输出端包括N个输出端口，每个所述输出端口用于容纳一个或是多个所述光通道。

4.根据权利要求1所述的干涉系统，其特征在于，所述第一多自由度干涉模块以及所述第二多自由度干涉模块均包括多个多自由度干涉装置。

5.根据权利要求4所述的干涉系统，其特征在于，所述多自由度干涉装置是偏振旋转器件、或轨道角动量调节器件、或时间延迟器件、或频率调节器件。

6.根据权利要求4所述的干涉系统，其特征在于，所述多自由度干涉装置与所述路径干涉模块相互分离，或是所述多自由度干涉装置与所述路径干涉模块集成为一体。

7.根据权利要求1所述的干涉系统，其特征在于，所述路径干涉模块包括：两个多层干涉仪；

其中，所述多层干涉仪包括多个层叠设置的单层干涉仪；两个所述多层干涉仪的单层路径干涉平面相互正交。

8.根据权利要求7所述的干涉系统，其特征在于，所述单层干涉仪包括多个层叠设置上的条状干涉仪；

同一所述单层干涉仪中相邻的两个所述条状干涉仪相对的平面之间具有多个分束器；不同的所述分束器的分束比相同或是不同；所述分束器的分束比与所述光自由度相关或是不相关；

同一所述多层干涉仪中，所述单层干涉仪的层叠方向与所述条状干涉仪的层叠方向垂直；

其中，所述单层干涉仪的内部相位通过外部附加设备调节，所述外部附加设备用于调节压力和/或温度。

9.根据权利要求8所述的干涉系统，其特征在于，同一所述多层干涉仪中，在所述单层干涉仪的层叠方向：

所述单层干涉仪为等腰直角三角形，所述等腰直角形的底边对应的平面具有反射层；在所述条状干涉仪的层叠方向上，相邻两个所述条状干涉仪之间的交界面平行于所述底边；所述等腰直角形的一个腰边用于垂直入射光线，另一个腰边用于垂直出射光线；

或，所述单层干涉仪为矩形；在所述条状干涉仪的层叠方向上，相邻两个所述条状干涉仪之间的交界面平行于所述矩形的同一对角线；所述矩形的两个临边用于垂直入射光线，另外两个临边用于垂直出射光线；

或，所述单层干涉仪为具有45°顶角的平行四边形；所述平行四边形具有平行设置的第一边以及第二边；平行设置的第三边以及第四边；在所述条状干涉仪的层叠方向上，相邻两个所述条状干涉仪之间的交界面平行于所述第一边；所述第三边用于垂直入射光线，所述第四边用于垂直出射光线；所述第一边以及所述第二边对应的表面具有反射层；

或，所述单层干涉仪中的所述条状干涉仪为具有45°顶角的平行四边形；任意相邻两个条状干涉仪关于二者之间的交界面对称；最外侧的两个所述条状干涉仪背离相邻所述条状干涉仪的表面设置有反射层。

10.一种多层干涉仪，其特征在于，用于如权利要求1-9任一项所述的干涉系统，所述多层干涉仪包括：

多个层叠设置的单层干涉仪；

所述单层干涉仪包括多个层叠设置上的条状干涉仪；

其中，所述单层干涉仪的层叠方向垂直于所述条状干涉仪的层叠方向。

11.一种单层干涉仪，其特征在于，用于如权利要求1-9任一项所述的干涉系统，所述单层干涉仪包括：

多个层叠设置的条状干涉仪，相邻两个条状干涉仪之间具有多个分束器；不同的所述分束器的分束比相同或是不同。

12.一种条状干涉仪，其特征在于，用于如权利要求1-9任一项所述的干涉系统，所述条状干涉仪的至少一个表面具有多个分束器；不同的所述分束器的分束比相同或是不同。