用于清洁真空泵的方法
技术领域：
本发明涉及一种用于清洁真空泵的方法，该真空泵包括具有至少一个泵转子的泵室。
背景技术：
在这种真空泵的各种应用中，具有在运行期间形成杂质并且杂质聚积在吸入室 (泵室)中的问题。这里应用例如为MOCVD过程、LPCVD过程、PECvVD过程、PVD过程或光伏模块的层压。这些过程是使用处理气体的过程或者在处理室中形成反应产物的过程，其中反应产物由于压力/温度条件而在真空泵中分解或与彼此反应。结果，形成在层中生长或作为灰尘而存在的颗粒。例如，真空泵的这样一种应用是利用真空泵沉积用于制造太阳能电池的透明导电氧化层(TC0层)。例如，TCO层由水和二乙基锌的组合制成。水和二乙基锌可以在大气压下相当剧烈地反应。在几个毫巴的低压下，反应是显著更缓慢的。因此，为了形成TCO层， 使这两种材料在处理室中的真空下反应，以强迫缓慢的反应。水和二乙基锌之间的反应的副产物是灰尘颗粒形式的杂质，这些杂质引起在泵壳和转子上的聚积。这些反应还可以在泵中发生。这种聚积使泵的最大运行时间降低。清洁真空泵是麻烦且费时的，并且通常需要将泵整体拆卸下来。从DE 10 2004 063 058 Al中已知用于清洁真空螺杆泵的冲洗方法，其中，泵在以额定旋转速度运行时利用清洁流体被冲洗，清洁流体为冲洗流体和冲洗气体的混合物。
发明内容
本发明的目的是提供一种用于清洁真空泵而无需从装置拆卸或拆除泵的简单方法。根据本发明的方法由权利要求1中的特征限定。泵室被填充例如酸、碱、溶剂或软化剂形式的清洁流体。使转子运动将使清洁溶液分布在泵室中，使得清洁溶液还将到达泵室中难以接近的部分。通过使转子运动，形成了清洁液体和溶解的杂质的混合物。该混合物随后被从泵室排出。借助于清洁液体溶解杂质代表了简单的清洁方法，可以利用该清洁方法增加真空泵的最大运行时间。如果使用该清洁方法，可以避免聚积了杂质的的泵的堵塞，因此避免泵的可能的损坏或者甚至是破坏。该清洁方法比常规的简单冲洗方法更高效。与常规的方法相比，清洁过程的持续时间减小，由此泵的可用有用时间增大。与在泵以额定旋转速度运行时使用冲洗流体的已知冲洗方法相比，优点是能够通过独立于冲洗过程本身将清洁液体填充到泵室中以及在泵室中分布清洁液体而更好地溶解杂质。这在清洁过程不是在泵以额定旋转速度运行时执行的情况下是特别真实的。为此，泵室入口和泵室出口必须被关闭，并且泵室必须完全充满清洁液体。在清洁过程之后， 可以例如使用已知的冲洗方法冲洗真空泵。
在清洁液体排出之后，泵室利用诸如水之类的冲洗液体被冲洗，然后在泵重新启动之前被干燥。清洁液体可以是酸性清洁溶液。该酸性清洁溶液溶解包含锌的沉积物。为了提高清洁方法的效率，泵室有利地被清洁液体再填充，并且液体通过转子的运动而分布在泵室中，以使新的清洁液体将到达仍然剩余的沉积物以溶解该沉积物。因为溶解的沉积物用尽了清洁液体，所以反复的再填充和转子运动对提高效率而言可能是必要的。在将清洁液体填充到泵室中之前，泵的运行应当被停止。然后，泵室入口和泵室出口被关闭。特别有利的是在清洁过程中使可能的二次气体从泵室逸出。例如，二次气体是氮气，氮气用作泵室和邻接的泵转子传动装置壳体之间的密封气体(“密封轴清洗”)或用作用来防止压缩气体冷凝的气镇。例如，气镇供应被停止，并且密封气体流动减小。出于通风的目的，可以在泵室的上部中制造脱气开口，二次气体可以通过该脱气开口从泵室向上逸出到大气中。二次气体可能阻止清洁液体的均勻分布，从而削弱清洁过程的效率。脱气开口可以设有可移除的塞子。为了二次气体的逸出，可以在脱气开口上设置脱气管道，逸出的二次气体通过该脱气管道被引导到大气。优选地，脱气管道与用于泵室出口的排气线路相连。如果使用酸性清洁溶液，那么清洁溶液的酸度应当足够高以用于高效的清洁，并且在该方面，应当足够低以避免对泵构件的任何不必要的腐蚀。这些特性给定在2%至 15%之间的酸度。特别有利的酸度为大约10%。用于在清洁液体中使用的有利的酸为柠檬酸。
下面是参照附图进行的本发明的实施方式的详细描述。在图中图1是具有泵室和泵转子的真空泵的截面图，以及图2是图1的放大详图。
具体实施例方式示出的真空泵10包括泵室12(吸入室)，转子14支撑在泵室12中，用于轴向压缩。转子14经由布置在泵室12外并包含在传动装置隔室16中的传动装置驱动。泵室12 被外壳18围住。外壳18具有泵室入口 20和泵室出口 22。转子14的轴15穿过外壳18和传动装置隔室16之间的通道17从泵室12进入传动装置隔室16。在图2中详细地示出了通道17。脱气开口 M形成在外壳的顶部中，脱气管道沈设置在脱气开口 M上。脱气管道 26与排气线路30相连，排气线路30与泵室出口 22相连。当利用水蒸汽和二乙基锌使真空泵运行时，这些物质随着压力上升而反应并且在泵室中形成锌或氧化锌形式的金属或氧化沉积物。为了溶解这些杂质，首先，泵10的运行被停止，并且泵室入口 20以及泵室出口 22被关闭。然后，泵室12被充满包含柠檬酸的清洁溶液形式的清洁液体观。转子14的随后运动使清洁溶液观均勻地分布，并因此到达泵室12中的所有内表面，尤其是还到达泵和转子的难以接近的部分。清洁液体使沉积物溶解并且形成具有该溶解的沉积物的溶液。通过反复地再填充新的清洁液体观并使转子14运动以分配清洁液体，仍然新的清洁液体能够到达剩余的杂质并且还将溶解这些杂质。为了防止二次气体的聚积使清洁溶液远离沉积物，通过脱气开口 M将二次气体排空。因为脱气开口 M形成在外壳18的顶部中，所以二次气体能够以向上上升穿过清洁溶液的气泡的形式通过脱气开口 M逸出。脱气管道沈设置在脱气开口 M上，该管道将逸出的二次气体排出到大气中。在图1中示出的实施方式中，脱气管道沈被引导到泵室出口 22的排气线路30中。氮气是典型的二次气体。例如，氮气用作气镇以在泵运行期间避免水蒸汽的冷凝。 氮气还用作密封气体以密封从传动装置隔室16到泵室12中的转子轴的通道17，使得没有杂质能够从泵进入传动装置隔室，并且清洁液体不能够逸出到传动装置隔室中。在这一点上，密封气体经由密封气体供应线路32供应到轴密封件36的间隙34，并且从间隙34流到泵室12中。使用密封气体氮气，在通道17的出口侧38的区域中形成了气体的密封聚积， 这能够防止清洁液体观侵入到要密封的区域中。为了避免密封气体聚积超过该区域并遮蔽要清洁的表面，需要排出口。该排出口是通过在通道17的出口侧38上方形成脱气开口 24而实现的，这是因为从间隙34泄漏的密封气体在泵室12内的清洁液体观中上升并且聚积在通道出口侧38上方的区域中。密封气体被通过脱气开口 M排出。在杂质已经溶解在清洁溶液中之后，清洁液体28与溶解的杂质一起被从泵室12 排出。然后，泵室12被以清水冲洗并随后被干燥。此处，特别地，可以使用从现有技术已知的冲洗方法。在干燥之后，清洁过程终止，并且真空泵10可以被重新启动。
权利要求
1.一种用于清洁真空泵(10)的方法，所述真空泵(10)包括具有至少一个泵转子(14) 的泵室(12)，其特征在于以下步骤a)将清洁液体08)填充到所述泵室(1 中，b)使所述清洁液体08)分布在所述泵室(1 中，c)利用所述清洁液体0 溶解杂质，d)从所述泵室(1 中排出所述清洁液体08)。
2.如权利要求1所述的方法，其特征在于以下的进一步的步骤e)利用冲洗液体冲洗所述泵室(12)，f)使所述泵室(1 干燥。
3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述清洁液体08)是酸性清洁溶液，和/或所述冲洗液体是水。
4.如权利要求1至3中的一项所述的方法，其特征在于，通过使所述转子(14)运动而使所述清洁液体分布在所述泵室(1 中。
5.如权利要求1至4中的一项所述的方法，其特征在于，在执行步骤a)之前，所述泵的运行被停止、和/或所述泵室入口 OO)和所述泵室出口 0 被关闭。
6.如权利要求1至5中的一项所述的方法，其特征在于，步骤a)至c)被重复。
7.如权利要求1至6中的一项所述的方法，其特征在于，所述清洁液体08)包含柠檬酸并且具有大约2%至15%的酸度。
8.如权利要求7所述的方法，其特征在于，酸度为10%。
9.如权利要求1至8中的一项所述的方法，其特征在于，停止向所述泵室(12)的气镇供应，所述气镇防止压缩气体冷凝。
10.如权利要求1至9中的一项所述的方法，其特征在于，减小所述泵室(12)和邻接的所述泵转子(14)的传动装置隔室之间的密封气体区域。
11.如权利要求1至10中的一项所述的方法，其特征在于，在所述泵室(12)的顶部中设置脱气开口(M)，使得气体聚积能够通过所述脱气开口 04)从所述泵室(1 逸出，所述气体聚积防止所述清洁液体08)与要去除的杂质反应。
12.如权利要求11所述的方法，其特征在于，所述脱气开口04)设置在从所述传动装置隔室(16)到所述泵室(12)的转子轴通道(17)的出口侧(38)上方的区域中。
13.如权利要求11或12所述的方法，其特征在于，脱气管道06)设置在所述脱气开口 (24)上，气体逸出通过所述管道06)被引导到大气中。
14.如权利要求11或12所述的方法，其特征在于，脱气管道06)设置在所述脱气开口 (24)上，所述管道通到连接于所述泵室出口 02)的排气线路(30)中。
全文摘要
本发明涉及一种用于清洁真空泵(10)的有效方法，真空泵(10)包括具有至少一个泵转子(14)的泵室(12)，所述方法的特征在于以下步骤a)利用清洁液体(28)对泵室(12)进行填充，b)使清洁液体(28)分布在泵室(12)中，c)利用清洁液体(28)溶解杂质，以及d)从泵室(12)中排出清洁液体(28)。
文档编号B08B3/08GK102202805SQ200980142434
公开日2011年9月28日 申请日期2009年10月27日 优先权日2008年10月28日
发明者哈根·格特利希, 斯特凡·施奈德, 英戈·坎嫩 申请人:厄利孔太阳能特鲁巴赫公司, 厄利孔莱博尔德真空技术有限责任公司
文档序号 :
【 1546075 】
技术研发人员：英戈·坎嫩
技术所有人：厄利孔莱博尔德真空技术有限责任公司
备 注：该技术已申请专利，仅供学习研究，如用于商业用途，请联系技术所有人。
声 明 ：此信息收集于网络，如果你是此专利的发明人不想本网站收录此信息请联系我们，我们会在第一时间删除
技术研发人员：英戈·坎嫩
技术所有人：厄利孔莱博尔德真空技术有限责任公司
备 注：该技术已申请专利，仅供学习研究，如用于商业用途，请联系技术所有人。
声 明 ：此信息收集于网络，如果你是此专利的发明人不想本网站收录此信息请联系我们，我们会在第一时间删除