一种晶元盒运输车及其晶圆盒自动定位机构的制作方法
技术特征：
技术总结
本发明公开一种晶圆盒自动定位机构，包括矩形的晶圆盒托盘，所述晶圆盒托盘一侧固定安装有基准块，所述晶圆盒托盘另外三侧分别设置有直线导轨，所述直线导轨上安装有调整块，所述调整块顶端设置有调整块连接件，所述调整块连接件连接有驱动电机，所述驱动电机连接有驱动器。本发明还公开一种晶元盒运输车，包括自动引导运输车，所述自动引导运输车包括车体和位于所述车体上的车架，所述车架上安装有晶圆盒升降台，所述晶圆盒托盘固定于所述晶圆盒升降台顶部。本发明提供的晶元盒运输车及其晶圆盒自动定位机构，使得更换晶圆盒时可以根据不同晶元尺寸实现自动定位。
技术研发人员：刘治松;孙萌;王东明;于国庆
受保护的技术使用者：大连佳峰自动化股份有限公司
技术研发日：2017.08.28
技术公布日：2017.11.07
文档序号 :
【 12879336 】
技术研发人员：刘治松,孙萌,王东明,于国庆
技术所有人：大连佳峰自动化股份有限公司
备 注：该技术已申请专利，仅供学习研究，如用于商业用途，请联系技术所有人。
声 明 ：此信息收集于网络，如果你是此专利的发明人不想本网站收录此信息请联系我们，我们会在第一时间删除
技术研发人员：刘治松,孙萌,王东明,于国庆
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